Program studi S3 Ilmu Fisika, Program Pascasarjana (PPs) Universitas Sebelas Maret (UNS) didirikan berdasarkan SK Dirjen Dikti No. 31/KPT/I/2018. Kegiatan akademik dimulai sejak tahun ajaran 2018/2019. Prodi S3 Ilmu Fisika PPs UNS dalam proses akreditasi oleh BAN-PT. Kegiatan akademik  dimulai tahun ajaran 2018/2019 dengan jumlah mahasiswa angkatan pertamanya 3 mahasiswa.